Fundamentos dos sistemas microeletromecânicos quânticos

Abstract

Este trabalho tem como objetivo apresentar os fundamentos dos sistemas microeletromecânicos quânticos (QMEMS), explorando seus princípios de funcionamento, processos de fabricação e aplicações emergentes. Inicialmente, é realizada uma abordagem teórica sobre os sistemas microeletromecânicos (MEMS), destacando sua importância no desenvolvimento de dispositivos miniaturizados para as mais diversas áreas da indústria e da ciência. Em seguida, são discutidas as principais tecnologias associadas à fabricação de MEMS, com ênfase no processo de eletrodeposição de filmes finos, que permite a construção de microestruturas com elevada precisão e propriedades funcionais ajustáveis. O trabalho também aborda a evolução dos MEMS para os QMEMS, dispositivos capazes de operar em regimes quânticos, explorando fenômenos como superposição e entrelaçamento, com aplicações diretas em sensores quânticos, transdutores, navegação inercial autônoma e comunicação quântica. Além disso, são discutidas as perspectivas inovadoras para a produção de QMEMS, incluindo o uso de substratos híbridos, como duróid e silício, e técnicas avançadas de microfabricação. Este estudo visa contribuir para a compreensão dos desafios e das oportunidades que essa tecnologia emergente oferece, consolidando sua relevância no cenário atual da engenharia e das ciências aplicadas.